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2023年8月3日晚间，微导纳米(688147.SH)披露调研纪要显示，公司半导体ALD设备的应用场景均代表国内半导体各细分领域的工艺多元化发展方向，在逻辑芯片、存储芯片、新型显示芯片、化合物半导体领域均有设备订单，并逐步推动在客户端验证或验收。

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